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发布:2024/5/7 18:40:41 来源:shxj365


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目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定,对中性好,不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化,为枝晶生长条件[1]。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料会严重地影响单晶体的内在品质。因此找出引起提拉系统软轴晃动。

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FN16-12(Z)]高压单相并联电容器[如:BFF12-30-1] 等等柜内常用的主要二次元件(又称二次设备或辅助设备,是指对一次设备进行监察,控制,测量,调整和护的低压设备),常见的有如下设备:继电器,电度表,电流表,电压表,率表(如图),率因数表,频率表,熔断器,空气关,转换关,信号灯,电阻,按钮,微机综合保护装置等等。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000,CG6000,KAYEX100PV。生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前上大美国KAYEX\国外以美国KAYEX为代表KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投

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